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          紫外曝光 光刻領(lǐng)域

          發(fā)布時(shí)間:2016-12-11點(diǎn)擊數:3805次

          激埃特光電生產(chǎn)的大尺寸紫外光學(xué)薄膜器件主要用于紫外曝光機系統中,其中紫外反射鏡采用線(xiàn)膨脹系數為(3.3士0.1)×10-6/K的高硼硅玻璃做為基底,內表面精密數控加工成形,鍍制多層硬質(zhì)氧化物薄膜,產(chǎn)品具有光斑均勻性好、紫外反射率高、使用壽命長(cháng)等特點(diǎn),在PCB、平板顯示、LED等行業(yè)有著(zhù)廣泛的應用。


          包括半導體、集成電路、LED、MEMS、TFT、生物器件和納米科技等產(chǎn)業(yè),其中紫外反射鏡采用線(xiàn)膨脹系數為(3.3士0.1)×10-6/K的高硼硅玻璃做為基底,內表面精密數控加工成形,鍍制多層硬質(zhì)氧化物薄膜,產(chǎn)品具有光斑均勻性好、紫外反射率高、使用壽命長(cháng)等特點(diǎn)。

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